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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁(yè)  -  產(chǎn)品中心  -  光機(jī)產(chǎn)品  -  常溫壓電位移臺(tái)

S系列集成單軸--三軸的緊湊型壓電掃描臺(tái)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

S系列集成單軸--三軸的緊湊型壓電掃描臺(tái)：·壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng) ·無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向 ·亞納米級(jí)位置分辨率·內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制 ·長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)范圍 ·直接位置檢測(cè)

產(chǎn)品型號(hào)：S100/200/300.X & S500.X
更新時(shí)間：2026-04-03
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量：133
詳細(xì)介紹在線留言

X軸掃描臺(tái) — S100/200/300.X & S500.X

產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)范圍

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

· 直接位置檢測(cè)

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)S100.XS200.XS300.XS500.X

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；

2. 外形尺寸

55 × 55 × 17 mm

55 × 55 × 17 mm

55 × 55 × 17 mm

70 × 70 × 17 mm

3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

100 μm

200 μm

300 μm

500 μm

4. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 250 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 230 g

5. 線性誤差度

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

6. 重復(fù)定位精度

5 nm

5 nm

5 nm

6 nm

7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

0.5 nm

0.6 nm

0.9 nm

1.5 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.2 nm

0.3 nm

0.5 nm

0.7 nm

9. 剛性

1 N/μm

0.65 N/μm

0.25 N/μm

0.16 N/μm

10. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

750 Hz

590 Hz

310 Hz

210 Hz

11. 共振頻率，0.5 kg 負(fù)載 (± 20%)

200 Hz

162 Hz

100 Hz

80 Hz

12. 最大負(fù)載

500 g

500 g

500 g

500 g

13. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

電容式位置傳感

電容式位置傳感

電容式位置傳感

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

15. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

Z軸掃描臺(tái) — S100/200/300.Z

產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 直接位置檢測(cè)

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)S100.ZS200.ZS300.Z

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

2. 外形尺寸

55 × 55 × 23 mm

55 × 55 × 23 mm

55 × 55 × 23 mm

3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

100 μm

200 μm

300 μm

4. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g

5. 線性誤差度

0.02%

0.02%

0.02%

6. 重復(fù)定位精度

5 nm

5 nm

5 nm

7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

0.5 nm

0.6 nm

0.9 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.2 nm

0.3 nm

0.5 nm

9. 剛性

1 N/μm

0.7 N/μm

0.4 N/μm

10. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

550 Hz

540 Hz

430 Hz

11. 共振頻率，0.5 kg 負(fù)載 (± 20%)

230 Hz

210 Hz

150 Hz

12. 最大負(fù)載

500 g

500 g

500 g

13. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

電容式位置傳感

電容式位置傳感

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

15. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

XY掃描臺(tái) — S100/200/300.XY

產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 直接位置檢測(cè)

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

· 緊湊的串聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)S100.XYS200.XYS300.XY

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

2. 外形尺寸

55 × 55 × 28 mm

55 × 55 × 28 mm

55 × 55 × 28 mm

3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

100 μm

200 μm

300 μm

4. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g

5. 線性誤差度

0.02%

0.02%

0.02%

6. 重復(fù)定位精度

5 nm

5 nm

5 nm

7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

0.5 nm

0.6 nm

0.9 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.2 nm

0.3 nm

0.5 nm

9. 剛性

0.7 N/μm

0.5 N/μm

0.2 N/μm

10. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

X: 570 Hz；Y: 530 Hz

X: 480 Hz；Y: 400 Hz

X: 300 Hz；Y: 260 Hz

11. 共振頻率，0.5 kg 負(fù)載 (± 20%)

X: 130 Hz；Y: 120 Hz

X: 130 Hz；Y: 115 Hz

X: 85 Hz；Y: 80 Hz

12. 最大負(fù)載

500 g

500 g

500 g

13. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

電容式位置傳感

電容式位置傳感

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

16. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

XY掃描臺(tái) — S500.XY

產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 直接位置檢測(cè)

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

· 緊湊的串聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)S500.XY

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

2. 外形尺寸

70 × 70 × 28 mm

3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

500 μm

4. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 500 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 460 g

5. 線性誤差度

0.02%

6. 重復(fù)定位精度

6 nm

7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

1.5 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.7 nm

9. 剛性

0.13 N/μm

10. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

X: 190 Hz；Y: 150 Hz

11. 共振頻率，0.5 kg 負(fù)載 (± 20%)

X: 68 Hz；Y: 66 Hz

12. 最大負(fù)載

500 g

13. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

16. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

XYZ掃描臺(tái) — S100/200/300.XYZ
產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 直接位置檢測(cè)

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

· 緊湊的串聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)

產(chǎn)品圖片&尺寸


產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)S100.XYZS200.XYZS300.XYZ

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

2. 外形尺寸

55 × 55 × 42 mm

55 × 55 × 42 mm

55 × 55 × 42 mm

3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

100 μm

200 μm

300 μm

4. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g

5. 線性誤差度

0.02%

0.02%

0.02%

6. 重復(fù)定位精度

5 nm

5 nm

5 nm

7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

0.5 nm

0.6 nm

0.9 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.2 nm

0.3 nm

0.5 nm

9. 剛性

0.6 N/μm

0.5 N/μm

0.2 N/μm

10. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

X: 490 Hz；Y: 480 Hz；Z: 350 Hz

X: 410 Hz；Y: 380 Hz；Z: 320 Hz

X: 310 Hz；Y: 250 Hz；Z: 230 Hz

11. 共振頻率，0.5 kg 負(fù)載 (± 20%)

X: 110 Hz；Y: 115 Hz；Z: 170 Hz

X: 100 Hz；Y: 105 Hz；Z: 155 Hz

X: 75 Hz；Y: 80 Hz；Z: 110 Hz

12. 最大負(fù)載

500 g

500 g

500 g

13. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

電容式位置傳感

電容式位置傳感

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

16. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

XYZ掃描臺(tái) — S100.XYZ.P

產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 直接位置檢測(cè)

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

· 超小型并聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)對(duì)應(yīng)參數(shù)值

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

2. 外形尺寸

40 × 40 × 40 mm

3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

100 μm

4. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 200 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 190 g

5. 線性誤差度

0.02%

6. 重復(fù)定位精度

6 nm

7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

1 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.5 nm

9. 剛性

0.6 N/μm

10. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

XYZ: 750 Hz

11. 共振頻率，0.2 kg 負(fù)載 (± 20%)

XYZ: 230 Hz

12. 最大負(fù)載

200 g

13. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

15. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列



高速單軸掃描運(yùn)動(dòng) — SD15/30.X.C
產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 直接位置檢測(cè)

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

· 高動(dòng)態(tài)毫秒級(jí)響應(yīng)速度

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)SD15.XSD30.X

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

2. 外形尺寸

62 × 40 × 13.5 mm

80 × 40 × 13.5 mm

3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

15 μm

30 μm

4. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 180 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 160 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 250 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 220 g

5. 線性誤差度

0.03%

0.03%

6. 重復(fù)定位精度

2 nm

4 nm

7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

0.2 nm

0.5 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.1 nm

0.2 nm

9. 剛性

28 N/μm

18 N/μm

10. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

3.3 KHz

2.2 KHz

11. 共振頻率，0.3 kg 負(fù)載 (± 20%)

1 KHz

0.625 KHz

12. 最大負(fù)載

300 g

300 g

13. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

電容式位置傳感

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

15. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

MC-Archimedes.N 系列

三軸掃描運(yùn)動(dòng) — SH30.XYZ.C
產(chǎn)品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)

· 高負(fù)載能力

· 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

· 亞納米級(jí)位置分辨率

· 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制

· 直接位置檢測(cè)

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)對(duì)應(yīng)參數(shù)值

1. 可選版本

.NM, 絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本

3. 外形尺寸

160 × 160 × 34.5 mm

4. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

30 × 30 × 15 μm

5. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 4.5 kg；.NM 鋁合金，鈦合金: 4.2 kg

6. 線性誤差度

0.03%

7. 重復(fù)定位精度

4 nm

8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

0.3 nm

9. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開(kāi)環(huán))

0.2 nm

10. 剛性

25 N/μm

11. 共振頻率，0 負(fù)載 (± 20%)

X: 760 Hz；Y: 760 Hz；Z: 830 Hz

12. 共振頻率，10 kg 負(fù)載 (± 20%)

X: 220 Hz；Y: 220 Hz；Z: 340 Hz

13. 最大負(fù)載

10 kg

14. 位置傳感器類(lèi)型

電容式位置傳感

15. 線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA

16. 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

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